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真空泵性能恢复的一些方法 

 虽然机械真空泵发生的故障是多种多样的，但绝大多数故障却是可以排除的。有时，一台新的真空泵，对某些生产应用来说，仍觉其极限真空度不够高，维修工作者也可尽可能设法将其改进一些。从前面所述的维修方法、步骤、关键部位的分析，可以找到解决办法。深圳市扬程真空设备长期致力于真空泵维修保养服务，以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是比较合适的，但是因为其极限真空度不高，而导致整个机组的极限真空度较低（这个只是相对而言）。    有些泵，按其极限真空度的指标来说，也并不是很低的，但是生产上却希望它还能提高些，应如何着手呢?    对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。在该泵起初进行试抽时并未发现它有什么大毛病。生产上用它单独抽空希望能稳定地达到热偶真空计75格以上(相当于麦氏训·测的5X10;托)，而实际上它比所希望的低不多。    修理时，将其拆卸后测得其主要部位间隙尺寸为:转子切点间隙Q 04 nom,高真空室双面间隙Q 07 mm，低真空室双面间隙a 08 mm，转子比旋片短0 02mm。这些数据与表2来比较，还是正常的范围。    对这种泵的修理，可考虑从减小它的间隙公差着手。一首先，设法改变它的偏心值:把中间轴套换一偏心套，使上切点间隙减小到0 02 mm;将高真空室泵腔研磨去Q 03 mm，低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平台上组装(不打定位销)，边组装边用手盘动泵轮，并以对角均匀原则拧紧紧固螺钉。根据经验，如果转子外表是正圆形，则转动泵轮时，不管到那一点，均不应有阻滞费力的感觉;但如果装配不正或转子外表为椭圆形，在转动泵轮时，就会发生半周轮重、半周轮轻的感觉。该泵装配间隙减的很小，装配时稍有不慎，就装不正，这样由于摩擦发热等原因，就容易在运转中卡死或研坏。所以要认真、细致地装配。在装完后试抽，其真空度用热偶真空计测达82格，由曲线查得相当于8X103托，麦氏计测达2X 104托以上。运转一段时间后真空度还略有提高。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。(4)过滤网毁坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生阻碍。（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对***有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对***有一定的抽速。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空