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水环真空机组，大概可以分为下面几种类型：

　　水环泵：机组中水环泵的作用主要是造成罗茨泵所需的预备真空，对于一般情况而言，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又比较高，因此实际上我们一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而是采用了极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，这样还可以降低机组的极限压力。这些油还能减少排气腔内的有害空间，以消除它们对极限压力的影响。

　　一台泵与一台水环泵的极限压力是400Pa，这可以满足一般的真空需求，但它使用的范围会受到一定的限制，如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就可以大大提高机组的极限压力（可以达到25Pa）。从节省能源角度说，双涡旋盘，结构与单级相比相同，直径泵抽气容积为两倍。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的极限压力，可以使用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可以达到1Pa。

　　倘若三级水环机组还是不能满足极限压力的时候，我们可以采用水环泵并联机械真空泵。这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，比如在真空干燥方面。

　　如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是比较合适的，但是因为其极限真空度不高，而导致整个机组的极限真空度较低（这个只是相对而言）。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。可以把气镇机械真空泵与水环泵并联，作为泵的前级泵。真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直到它的水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。如果需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都比较少。

真空泵的使用范围

   由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。

   表3-1  常用真空泵的工作压强范围及起动压强

真空泵种类          工作压强范围（Pa）            起动压强（Pa）  

活塞式真空泵      1×100000～1.3×100              1×100000  

旋片式真空泵      1×100000—6.7×0.1              1×100000  

水环式真空泵      1×100000—2.7×1000             1×100000  

罗茨真空泵        1.3×1000—1.3                   1.3×1000  

涡轮分子泵        1.3—1.3×0.00005                1.3  

水蒸气喷射泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

油扩散泵          1.3×0.01—1.3×0.0000001        1.3×10  

油蒸气喷射泵      1.3×10—1.3×0.01               <1.3×100000  

分子筛吸附泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

溅射离子泵        1.3×0.001—1.3×0.000000001     6.7×0.1  

钛升华泵          1.3×0.01—1.3×0.000000001      1.3×0.01  

锆铝吸气剂泵      1.3×10—1.3×0.00000000001      1.3×10  

低温泵            1.3—1.3×0.00000000001          1.3—1.3×0.1

真空泵性能恢复的一些方法 

 虽然机械真空泵发生的故障是多种多样的，但绝大多数故障却是可以排除的。有时，一台新的真空泵，对某些生产应用来说，仍觉其极限真空度不够高，维修工作者也可尽可能设法将其改进一些。从前面所述的维修方法、步骤、关键部位的分析，可以找到解决办法。真空泵在真空中蒸发镍铬磁带、磁盘、半导体激光器，约瑟夫逊器件、电荷耦合器件（CCD）也都甬道各种薄膜。深圳市扬程真空设备长期致力于真空泵维修保养服务，以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。    有些泵，按其极限真空度的指标来说，也并不是很低的，但是生产上却希望它还能提高些，应如何着手呢?    对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。在该泵起初进行试抽时并未发现它有什么大毛病。生产上用它单独抽空希望能稳定地达到热偶真空计75格以上(相当于麦氏训·测的5X10;托)，而实际上它比所希望的低不多。    修理时，将其拆卸后测得其主要部位间隙尺寸为:转子切点间隙Q 04 nom,高真空室双面间隙Q 07 mm，低真空室双面间隙a 08 mm，转子比旋片短0 02mm。这些数据与表2来比较，还是正常的范围。    对这种泵的修理，可考虑从减小它的间隙公差着手。一首先，设法改变它的偏心值:把中间轴套换一偏心套，使上切点间隙减小到0 02 mm;将高真空室泵腔研磨去Q 03 mm，低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平台上组装(不打定位销)，边组装边用手盘动泵轮，并以对角均匀原则拧紧紧固螺钉。根据经验，如果转子外表是正圆形，则转动泵轮时，不管到那一点，均不应有阻滞费力的感觉;但如果装配不正或转子外表为椭圆形，在转动泵轮时，就会发生半周轮重、半周轮轻的感觉。该泵装配间隙减的很小，装配时稍有不慎，就装不正，这样由于摩擦发热等原因，就容易在运转中卡死或研坏。所以要认真、细致地装配。在装完后试抽，其真空度用热偶真空计测达82格，由曲线查得相当于8X103托，麦氏计测达2X 104托以上。运转一段时间后真空度还略有提高。