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极限真空概念

“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的真空度。

“极限真空”，表示该状态下，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。

比如，某台抽气能力很弱的微型真空泵，它经过***长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa，那么95KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的PM950.2。首先在光学方面，一块光学玻璃或石英外表上镀一层或几层不同物质的薄膜后，即可成为高反射或无反射（即增透膜）或者作任何预期比例的反射或透射资料，也能够作成对某种波长的吸收，而对另一种波长的透射的滤片。再比如，有一台抽气能力很强的微型真空泵，它可以把气压由100KPa降到10 KPa，那么10KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的VCH1028。　　

⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。