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旋片式真空泵机组

　　旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。而市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。

　　而立式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。在60℃温度条件下至少要到达6．5×10-5kPa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。

真空单位的换算

真空单位一般可以用相对真空度真空度来标识，下面我们来讲一下相对真空度和真空度的换算。国际真空行业通用的真空度”，也是***是用压力标识；旋片式真空泵机组旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。指得是“极限真空、真空度（真空其实是一种理想的真空状态，其实真空是不存在的）、压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的，得出两者换算方法如下：

相对真空度真空度压力测量地点的气压

一个标准大气压1atm=101325Pa=101.325kPa=0.101325MPa≈0.1MPa单圈弹簧管式压力表（比如Y—100）测量的是相对压力，指针是顺时针变化，起始点0表示一个大气压0.1MPa，比如指示为1 MPa，表示比大气压高1 MPa，压力应是1.1MPa。单圈弹簧管式真空表（比如Z—100）测量的也是相对压力，指针是逆时针变化，起始点0表示一个大气压0.1MPa，若指示数为Px（应是负值），压力P=Px+0.1MPa。比如，指示数为Px=－0.02MPa=－20kPa，压力P=Px+0.1MPa=80 kPa。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃，都很需求。指示数为Px=－0.04MPa=－40kPa，压力P=Px+0.1MPa=60

kPa。指示数为Px=－0.06MPa=－60kPa，压力P=Px+0.1MPa=40

kPa。指示数为Px=－0.08MPa=－80kPa，压力P=Px+0.1MPa=20

相对真空压力－0.1MPa，实际应是－0.101325MPa，相当于压力为0，这是不可能达到的，目前能达到的真空度大约为10^（－12）Pa。

真空泵应用技术的分支 真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支，东莞真空泵它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相堆积法。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。假如从真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理、化学性能的话，这一技术又是真空外表处置技术中的重要组成局部。

真空泵现就其几个主要应用方面做一简单引见。首先在光学方面，一块光学玻璃或石英外表上镀一层或几层不同物质的薄膜后，即可成为高反射或无反射（即增透膜）或者作任何预期比例的反射或透射资料，也能够作成对某种波长的吸收，而对另一种波长的透射的滤片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉，都很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃，都很需求。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的位置。过大的汽蚀会导致泵体、叶轮等零部件的损坏，以致于真空泵无法正常工作。各种范围的继承电路。