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极限真空概念

“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的真空度。

“极限真空”，表示该状态下，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。

比如，某台抽气能力很弱的微型真空泵，它经过***长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa，那么95KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的PM950.2。东莞真空泵旋片真空泵一般只适于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的气体（对于后者须装气镇阀），不适于抽除含氧过高、腐蚀性、对泵油起化学作用和含有固体颗粒的气体。再比如，有一台抽气能力很强的微型真空泵，它可以把气压由100KPa降到10 KPa，那么10KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的VCH1028。　　

无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题，国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索，在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划，如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等，这些举措都为铺展市场做好了基础。（7）有效的汽蚀余量（装置汽蚀余量）NPSHa：由买方根据该泵装置（液体在额定流量和正常抽送温度下）确定的气蚀余量。

无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题，还使系统制造与运行成本降低。按其作用原理可分为三类：（1）叶片式：叶片式泵有叶轮，叶轮上均布置有叶片。在生物制品与半导体行业中，如果应用普通旋片油泵，会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题，而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子，还要在系统运行中，定期清洗除油，增加了成本运行。因此，无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景，是着重商业化的对象。

国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境，无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质，还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴，带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。

真空泵制造业发展空间巨大 

真空泵是一个量大面广的产品但产量很大、产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的***的基础产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分14大类：

　　高/超真空泵——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。

　　中真空泵——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。

　　粗/低真空泵——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。

　　真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。

　　我国生产真空泵的厂家很多，全部真空泵的年销售额大约在1.5亿元左右仅相当于美国kinney公司一家真空泵的年销售额。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。通过对***真空泵市场的分析我们可以看出各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和***的基础，国产真泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证，有些泵还出口国外得到国外用户的认可并受到好评，应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。