企业等级: | 普通会员 |
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发布时间:2021-11-19 06:57:00 作者:港发真空
无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题,国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索,在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划,如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等,这些举措都为铺展市场做好了基础。即在一定的压力、温度下,真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题,还使系统制造与运行成本降低。其次,由于某些工艺过程中被抽气体进入到真空泵内很难回收,并且造成泵内介质变质。在生物制品与半导体行业中,如果应用普通旋片油泵,会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题,而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子,还要在系统运行中,定期清洗除油,增加了成本运行。因此,无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景,是着重商业化的对象。
国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境,无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质,还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴,带动了整个真空获得行业的能力和技术标准。
真空泵故障检测方法
真空泵起动艰苦
(1)真空泵已返油,用手扳动皮带轮旋转数周,便可起动,
(2)因为历久不运转或停机后未放入大气,使真空泵腔内充斥真空泵油。用手扳动皮带轮旋转数周,便可起动,
(3)油温太低,应给油加温或让室内温度坚持在15度以上,也能够用手扳动皮带轮旋转数周,再继续通电运转数分钟,便可失常事情
(4)油已蜕变,应调换新的真空泵油,
(5)电源缺相,应检验电源。
真空泵应先开动水环泵
真空泵罗茨泵机组中无旁通阀时,应先开动水环泵,被抽系统中的气体由罗茨泵(气体推进罗茨泵转子自行转动,好像流量计普通)进入水环泵后再排至大气,待水环泵的吸入压力(如串联有大气泵,则为大气泵的吸入压力)到达罗茨泵的起初规则值时(即允许排气压力),始启动罗茨泵,机组正式运转,开端工作。真空泵市场所发生的动态变化,显示了绿色环保领域在各工业体系中的渗透。东莞真空泵罗茨泵机组中有旁通阀时,如上图所示,先启动水环泵,接着开动罗茨泵,此时,罗茨泵进排气压差较大,旁通阀自动开启,被抽容器中的气体一局部经过旁通阀进入水环泵,另一局部在罗茨泵的作用下经过该泵也进入水环泵,显然抽气速率增加,这样很快到达罗茨泵的预真空,进排气压差较小,阀门自动关闭(或人工关闭),机组正式工作。这种办法能大大缩短预抽时间,但设备较复杂。
1、真空泵油的密封性
真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。
2、真空泵油的饱和蒸汽压
饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。
油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5 kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
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